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飞秒激光微纳制造系统
系统简介:
激光微纳制造系统是一种利用激光的高能量密度和精准聚焦能力进行微纳尺度和特定功能结构加工的先进制造系统。通过激光与材料间的相互作用改变材料的物态和性质,实现微米至纳米尺度或跨尺度的控形与控性,实现高精度、复杂结构的加工,常被应用于微电子器件制造、生物医学器件制造、微机械系统制造等领域。
系统功能:
① 自定义加工脚本:支持用户通过对应的指令,自定义不同脚本命令的组合,调整不同脚本命令的执行顺序,实现复杂加工,可以有效提升激光微纳制造系统的加工性能和通用性。
② 通用路径文件导入:支持通用路径文件读取,例如:*.dxf、*.GCdoe、*.Bitmap 和 *.stl 等文件的导入和预览,可满足不同微纳加工需求。
③ 加工轨迹生成:支持根据导入路径文件生成加工轨迹,并提供轨迹预览功能,可有效提高加工效率和便捷性。
④ 加工过程实时监控:支持对加工过程中,各硬件设备状态的实时监控以及加工区域附近图像的显示和录制功能。
核心亮点:
① 二维、三维复杂图案加工:通过导入图片、通用路径文件或三维模型文件,实现复杂二维和三维图案直接加工。
② 自定义加工脚本,实现不同设备间协调加工:针对不同微纳加工任务,用户可以灵活组合脚本指令,实现对系统中不同设备间的协调控制。
③ 加工过程实时监控,保障加工安全:用户操作界面实时显示微纳制造系统中不同的硬件设备状态信息,监测加工过程。
系统架构:
装置实物图:
加工效果展示:
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