单晶硅炉智能视觉检测解决方案

案例分析

   单晶炉拉晶的精度和质量，取决于液位的高度控制以及晶棒的直径控制。然而，炉内的高温、强辐射使得常规接触式测量无法进行。目前的解决方法是靠人眼的观察和经验判断，但人眼易疲劳、主观性强，使得生产效率和质量受限。本公司所研制的单晶炉自动化视觉检测系统，采用机器视觉技术对单晶炉内晶体生长过程中液面距离和晶体直径进行实时检测，并将检测结果实时输出到系统控制单元。控制单晶硅炉拉晶转速和抬速，提高晶体柱的品质，真正实现无人值守的全自动操作。
    系统采用无接触式测量，操作安全，检测精度高。系统设备小巧，易于安装，能应用到各种规格的直拉式单晶硅生长炉实现全自动操控。

检测功能：液位高度、晶棒直径尺寸

检测流程：

功能描述：
    1）自动识别包装箱上的产品字符，与数据库比对得到产品的包装信息；
    2）检测包装箱的边界；
    3）识别产品的形状，统计产品的数量，与包装信息比对，输出结果。

检测现场

性能特点

• ◊ 检测精度高，能满足高品质要求；
  ◊ 检测实时性强，在拉晶的过程中同步输出，响应迅速；
  ◊ 适应炉内高温环境，在强光源下能够保持稳定检测；
  ◊ 检测结果不受晶柱晃动和液面波动的影响；
  ◊ 具有鲁棒性，能适用于各种直径、规格的晶体生产；
  ◊ 友好、易用、可扩展的视觉处理软件；
  ◊ 采用标准化的网络输出和串口输出，适应性强；
  ◊ 实现长时间稳定工作，高可靠性；
  ◊ 可自由调节设备高度和角度，配合多种单晶炉设备；
  ◊ 检测装置设备小巧，易于安装，调试简单方便。

技术参数